同步輻射磁場量測必須使用 高精氣浮平台 達成光源隧道內空間磁場的量測與調整。
| ITEM 項目 | Z axis | |
| Stroke 行程 | Effective (mm) | 5000 |
| Maximal (mm) | 5200 | |
| Resolution 解析度 (um) | 0.02 | |
| Straightness 走行直線度 (um) | <1 | |
| Flatness 走行平坦度 (um) | <1 | |
| Repeatability 重現精度 (um) | +/- 0.1 | |
| Accuracy 絕對精度 (um)
(with laser calibration) 雷射校正後 |
<0.5 | |
| Maximal speed (m/sec) | 0.5 | |
| Maximal Acc. 最大加速度 (G) | 1 | |
- 使用氣浮導軌達成長行程高精度運行.
- 使用鐵心式超低Cogging線性馬達.
- 對稱式電纜鏈抵銷電纜彎曲產生的外力