放電線切割機 已進入次微米精度級別，該機器所用的平台要有良好的防潑水設計，精準的定位精度，及良好的走行速度穩定度。
| ITEM 項目 | X axis (up) | Yaxis(down) | Z axis | |
| Stroke 行程 | Effective (mm) | 150 | 150 | |
| Maximal (mm) | 160 | 160 | ||
| Resolution 解析度 (um) | 0.02 | 0.02 | ||
| Straightness 走行直線度 (um) | <1 | <1 | ||
| Flatness 走行平坦度 (um) | <5 | <5 | ||
| XYZ squareness 直角度 (um) | <3 | |||
| Repeatability 重現精度 (um) | +/- 0.05 | +/- 0.05 | ||
| Accuracy 絕對精度 (um)
(with laser calibration) 雷射校正後 |
< 0.5 | < 0.5 | ||
| Maximal speed (m/sec) | 1 | 1 | ||
| Maximal Acc. 最大加速度 (G) | 3 | 3 | ||
- 低重心疊積設計：上軸工作平面至下軸滑軌安裝面僅100mm.
- 寬跨距雙線馬下軸設計：確保上軸重心偏移不產生Yaw方向共振
- 盲道式蓋板設計，提高防塵能力。
- 使用鐵心式超低Cogging線性馬達.