半導體用超精密定位平台

半導體用超精密定位平台 是磁晶科技發展17年的核心技術，最早從日本精工(NSK) 的技術移轉到陸續配合台灣半導體產業客戶需求，及加工供應鏈技術不斷優化，才有今日與歐美日先進品牌並駕齊驅的成果。該產品系列主要包括三個機型，包括：

• 泛用型應用精密定位平台
• 線掃描應用精密定位平台
• 超真空相容應用精密定位平台

各機型含有多種外型尺寸可供選擇，本系列亦可接受客製產品的服務。

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用途

• 晶圓探針卡絕緣層鑽孔設備
• 半導體真空電子束檢查機
• 晶圓精密貼合設備
• 晶圓線掃瞄檢查設備
• 生物醫學檢查設備
• LCD/LED黏晶、焊線、分檢設備

等。

 

泛用型應用精密定位平台

• 超低頓振線性馬達直接驅動，達成無背隙高速精密運動
• 使用NSK精密級滾珠滑軌
• 可實現50nm的最小步進運動，全行程重複精度±0.3um
• 全系列使用類比量微型光學尺，可搭配任意解析度數字差分器
• 風琴防塵罩設計

1. 命名規則：

2. 規格：

機械與性能參數	單位	MTXY06	MTXY08	MTXY12
總行程	mm	170	220	320
有效行程	mm	160	210	310
直線度	um	＜2	＜2.5	＜3
平面度	um	＜8	＜12	＜15
重複精度	um	±0.3	±0.3	±0.3
絕對精度	um	＜0.6	<0.6	<0.6
上軸移動質量	kg	7	7	7
下軸移動質量	kg	19	21	24
最大負載質量	kg	20	20	20
電機與驅動參數	單位
上軸峰值推力	Nt	720	720	720
下軸峰值推力	Nt	1200	1200	1200
上軸持續推力	Nt	240	240	240
下軸持續推力	Nt	400	400	400
上軸峰值電流	Arms	16.8	16.8	16.8
下軸峰值電流	Arms	19.2	19.2	19.2
上軸持續電流	Arms	5.6	5.6	5.6
下軸持續電流	Arms	6.4	6.4	6.4
上軸推力常數	Nt/Arms	42.5	42.5	42.5
下軸推力常數	Nt/Arms	63.4	63.4	63.4
磁對距	mm	27	27	27
驅動電壓	VAC	220	220	220

 

3. 尺寸圖：

 

有效行程 (mm)		Dimensions- mm
上 軸	下 軸	A	B	C	D	E	F	P(mm) x N
160	160	552	552	480	174	204	58	145 x 3
210	210	602	602	510	184	234	83	145 x 3
310	310	712	712	594	197	318	66	145 x 4

線掃描應用精密定位平台

• 零頓振線性馬達直接驅動
• 使用NSK精密級滾珠滑軌
• 全行程重複精度±0.2um，速度穩定度< 0.2% @ 250mm/s
• 全件霧面黑色陽及處理，消除反光干涉
• 直流48V設計，避免交流串擾破壞速度穩定度及影像擷取
• 全系列使用微型光學尺，可搭配任意解析度數字差分器

 

1. 命名規則：

2. 規格：

機械與性能參數	單位	MTXY06	MTXY08	MTXY12	MTXY15
總行程	mm	170	220	320	400
有效行程	mm	160	210	310	380
直線度	um	＜1	＜1.5	＜2	<2.5
平面度	um	＜4	＜6	＜8	<10
重複精度	um	±0.2	±0.2	±0.2	±0.2
絕對精度	um	＜0.5	<0.5	<0.5	<0.5
上軸移動質量	kg	8	8	8	8
下軸移動質量	kg	20	23	28	34
最大負載質量	kg	10	10	10	10
電機與驅動參數	單位
上軸峰值推力	Nt	246	246	246	246
下軸峰值推力	Nt	492	492	492	492
上軸持續推力	Nt	52	52	52	52
下軸持續推力	Nt	104	104	104	104
上軸峰值電流	Arms	19	19	19	19
下軸峰值電流	Arms	38	38	38	38
上軸持續電流	Arms	4	4	4	4
下軸持續電流	Arms	8	8	8	8
上軸推力常數	Nt/Arms	13	13	13	13
下軸推力常數	Nt/Arms	13	13	13	13
磁對距	mm	45	45	45	45
驅動電壓	VDC	48	48	48	48

3. 尺寸圖：

 

有效行程 (mm)		Dimensions- mm
上 軸	下 軸	A	P x N
160	160	510	2 x 3
210	210	550	2 x 3
310	310	650	3 x 4
380	380	720	3 x 4

 

超真空相容應用精密定位平台

• 零頓振線性馬達直接驅動
• 使用真空專用NSK精密級滾珠滑軌，整機真空相容性可達10e-7 Torr
• 可實現20nm的最小步進運動，全行程重複精度±0.3um
• 採用解偶結構使電機線圈皆為靜止，解決真空電機散熱問題
• 採用解偶結構使上下軸的移動質量及電機參數完全相同，達成兩軸等頻寬
• 全系列使用微型光學尺，可搭配任意分辨率數字差分器

 

1. 命名規則：

2. 規格：

機械與性能參數	單位	250-150	450-200	450-310	R160 旋轉DD
總行程	mm	260/160	460/210	460/320	360
有效行程	mm	250/150	450/200	450/310	360
直線度	um	＜2	＜2	＜2	<2.5
平面度	um	＜5	＜5	＜5	<5
重複精度	um	±0.3	±0.3	±0.3	±1 arcsec
絕對精度	um	＜0.8	<0.8	<0.8	<3 arcsec
上軸移動質量	kg	7	7	7	4618 Kg-mm^2
下軸移動質量	kg	7	7	7
最大負載質量	kg	20	20	20	20
電機與驅動參數	單位
上軸峰值推力	Nt	190	190	190	2.7 Nt-m
下軸峰值推力	Nt	190	190	190
上軸持續推力	Nt	63	63	63	0.9 Nt-m
下軸持續推力	Nt	63	63	63
上軸峰值電流	Arms	15	15	15	4.8
下軸峰值電流	Arms	15	15	15
上軸持續電流	Arms	5	5	5	1.6
下軸持續電流	Arms	5	5	5
上軸推力常數	Nt/Arms	13	13	13	0.56 Nt-m/Apeak
下軸推力常數	Nt/Arms	13	13	13
磁對距	mm	45	45	45	12 poles
驅動電壓	VDC	48	48	48	48

3. 尺寸圖：

 

有效行程 (mm)		Dimensions- mm
型號	上軸/下軸	A	B	C	D	E	F
XY250-150	250/156	481	381	65.5	350	85.5	210
XY450-200	450/206	711	431	110.5	535	85.5	260
XY450-310	450/316	711	541	100	545	85.5	370

 

 

 

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