電子束顯微鏡 必須要在高真空環境中運作，通常真空度約在10e-7 Torr，對於應用於此環境的試片移載的平台，除了要有高的真空相容性避免 outgassing 外，移載所需的馬達也要能解決散熱問題，該平台利用解偶結構完美的解決電機散熱問題。
| ITEM 項目 | X axis | Y axis | R axis | |
| Stroke 行程 | Effective (mm) | 310 | 450 | 360 degree |
| Maximal (mm) | 320 | 460 | 360 degree | |
| Resolution 解析度 (um) | 0.02 | 0.02 | 0.1 arcsec | |
| Straightness 走行直線度 (um) | <1 | <1 | <1 (同心度) | |
| Flatness 走行平坦度 (um) | <3 | <3 | <1 | |
| Repeatability 重現精度 (um) | +/- 0.3 | +/- 0.3 | +/- 0.5 arcsec | |
| Accuracy 絕對精度 (um)
(with laser calibration) 雷射校正後 |
<0.5 | <0.5 | <2 arcsec | |
| Maximal speed (m/sec) | 0.4 | 0.4 | 15 rpm | |
| Maximal Acc. 最大加速度 (G) | 1.5 | 1.5 | 1 | |
- 電機線圈皆為固定件，解決真空散熱問題
- 使用鐵心式零Cogging線性馬達.
- 適用超真空環境達10 e-7 Torr