線掃描 擷取影像方式常用於晶圓缺陷自動檢測，移載晶圓的平台除了要很高的精度外，對於平台行走掃描時的速度穩定度也非常重要，否則會造成影像拼接失真的問題，該平台即是針對該應用所開發出來的產品。
| ITEM 項目 | X axis | Y axis | |
| Stroke 行程 | Effective (mm) | 390 | 390 |
| Maximal (mm) | 400 | 400 | |
| Resolution 解析度 (um) | 0.02 | 0.02 | |
| Straightness 走行直線度 (um) | <1 | <1 | |
| Flatness 走行平坦度 (um) | <3 | <3 | |
| Repeatability 重現精度 (um) | +/- 0.1 | +/- 0.1 | |
| Accuracy 絕對精度 (um)
(with laser calibration) 雷射校正後 |
<0.5 | <0.5 | |
| Maximal speed (m/sec) | 0.4 | 0.4 | |
| Maximal Acc. 最大加速度 (G) | 1.5 | 1.5 | |
- 特殊滑軌結構，達成優秀的速度穩定度 <0.2mm/s @ 250 mm/s (0.08%)
- 使用鐵心式零Cogging線性馬達.
- 全件霧面染黑，減少反射光干擾