微型納米精密定位平台

微型納米精密定位平台 是將超精密平台技術微型化的產品，該MT系列微型納米精密定位平台提供了完整6自由度奈米至亞微米級別的高精度對位需求。產品依運動形式分為四個模塊，包括：

• 單軸直線運動模塊、
• 準平垂直升降運動模塊、
• 平面旋轉運動模塊、
• 共樞紐俯仰擺角運動模塊；

各模塊含有多種外型尺寸可供選擇，這些模組可根據具體需求堆疊組合成多軸運動平台，最多可堆疊出完整六軸，本系列亦可接受客製產品的服務，例如使用於超高真空下對應的解決方案。

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用途

• 探針卡探針組裝之超精密自動化設備
• 攝像頭模組主動對位(AA)設備
• 光纖精密組裝對位設備
• 柔性屏精密貼合設備
• 半導體晶圓檢查設備
• 生物醫學檢查設備

等需要在有限空間內實現超精密定位之應用。

 

MTSA單軸線性運動軸

• 零頓振線性馬達直接驅動，達成無背隙高速精密運動
• 使用微小型精密級滾珠滑軌，解決交叉滾柱防塵及高速滑珠問題
• 可實現20nm的最小步進運動，全行程重複精度±0.1um
• 全系列使用類比量微型光學尺，可搭配任意解析度數字差分器
• 高性價比的緊湊型設計，與傳統微調對位平臺，安裝孔位相容

1. 命名規則：

 

2. 規格：

機械與性能參數	單位	MTSA060	MTSA080	MTSA120
總行程	mm	19	19	38
有效行程	mm	16	16	36
直線度	um	＜1	＜1	＜1
平面度	um	＜3	＜3	＜3
重複精度	um	±0.1	±0.1	±0.1
絕對精度	um	＜0.5	<0.5	<0.5
動子質量	g	177	190	640
總質量	g	275	377	1000
電機與驅動參數	單位	MTSA060	MTSA080	MTSA120
峰值推力	Nt	8.1	16	30
持續推力	Nt	2.7	4	10
峰值電流	A	0.75	2	3
持續電流	A	0.25	0.5	1
推力常數	Nt/Apeak	10.8	8.1	10.8
反電動勢	Vpeak（per phase）/m/s	3.6	2.7	3.6
電阻（line-to-line）	ohm	33	11	8.2
電感（line-to-line）	mH	1.3	0.44	0.3
磁對距	mm	9.6	9.6	9.6
驅動電壓	V	24	24	24

 

3. 接腳定義：

 

4. 尺寸圖：

 

MTRA平面旋轉運動模塊

• 微極距零頓振旋轉馬達直接驅動
• 超薄特殊設計，高剛性，高平面精度
• 有限轉角設計，最大轉角180 度
• 模組具有中空孔，方便光學設計
• 全系列使用微型光學尺，可搭配任意解析度數字差分器

1. 命名規則：

 

 

2. 規格：

機械與性能參數	單位	MTRA060	MTRA080	MTRA120
總行程	度	100/190	100/190	100/190
有效行程	度	90/180	90/180	90/180
最小分辨率	角秒	0.13307	0.1006	0.0687
同心偏擺度	um	±2	±2.5	±3.5
平面偏擺度	um	±3	±3.5	±4.5
重複精度	arcsec	±0.3	±0.3	±0.3
絕對精度	arcsec	＜±2.5	<±2	<±2
轉子慣量	Kg-mm^2	49	181	850
總質量	g	250	433	920
電機與驅動參數	單位	MTRA060	MTRA080	MTRA120
峰值扭力	Nt-m	0.45	0.78	1.71
持續扭力	Nt	0.15	0.26	0.57
峰值電流	A	1.5	1.5	1.5
持續電流	A	0.5	0.5	0.5
扭力常數	Nt-m/Apeak	0.3	0.52	10.8
反電動勢	Vpeak（per phase）/rad/s	0.1	2.7	3.6
電阻（line-to-line）	ohm	7.1	9.4	14
電感（line-to-line）	mH	2.3	5.8	13
磁極對		12	16	24
驅動電壓	V	24	24	24

 

3. 接腳定義：

4. 尺寸圖：

MTZA準平垂直升降運動模塊

• 使用準平舉升倍力結構，負載不偏心，重心姿態衡定
• 零頓振線性馬達直接驅動，達成無背隙高速精密運動
• 可實現20nm的最小步進運動，全行程重複精度±1um
• 大推力設計可承受重負載，通常使用於最底層軸
• 全系列使用微型光學尺，可搭配任意分辨率數字差分器

1. 命名規則：

2. 規格：

 

機械與性能參數	單位	MTZA100	MTZA150
總行程	mm	4	8
有效行程	mm	3	7
直線度	um	＜1	＜1
平面度	um	＜3	＜3
重複精度	um	±0.1	±0.1
絕對精度	um	＜0.5	<0.5
動子質量	g	320	646
總質量	g	958	2500
電機與驅動參數	單位	MTZA100	MTZA150
峰值推力	Nt	160	288
持續推力	Nt	40	72
峰值電流	A	4	8
持續電流	A	1	2
推力常數	Nt/Apeak	40	33.7
反電動勢	Vpeak（per phase）/m/s	13.3	11.2
電阻（line-to-line）	ohm	5.5	2.75
電感（line-to-line）	mH	0.22	0.11
磁對距	Mm	1.6	1.6
驅動電壓	V	24	24

 

3. 接腳定義：

4. 尺寸圖：

 

MTPR共樞紐俯仰擺角運動模塊

• 共面擺角結構，使俯仰兩軸的旋轉中心自然同心，簡化對位校正程序
• 零頓震線性馬達直接驅動，達成無背隙高速精密運動
• 有效擺角+/-5度，分辨率可達1 arcsec
• 使用舉升倍力結構，負載不偏心，可承受重負載
• 全系列使用微型光學尺，可搭配任意分辨率數字差分器

1. 命名規則：

2. 規格：

 

機械與性能參數	單位	MTPR080
Pitch/Roll行程	度	±7
Pitch/Roll有效行程	度	±5
分辨率	角秒	0.0987
重複精度	arcsec	±0.3
絕對精度	arcsec	＜±2.5
轉子慣量	Kg-mm^2	26
總質量	g	640
電機與驅動參數	單位	MTPR080
峰值扭力	Nt-m	0.52
持續扭力	Nt	0.13
峰值電流	A	2
持續電流	A	0.5
扭力常數	Nt-m/Apeak	0.26
反電動勢	Vpeak（per phase）/rad/s	0.08
電阻（line-to-line）	ohm	33
電感（line-to-line）	mH	1.3
磁極距	mm	9.6
驅動電壓	V	24

 

3. 接腳定義：

4. 尺寸圖：

 

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MTRA 系列組合圖	MTRA.rar	3D
MTZA 系列組合圖	MTZA.rar	3D
MTPR080 系列組合圖	MTPR080.rar	3D