光學鏡頭點膠機 適用於直接利用點膠滴表面張力形成二次光學鏡頭於LED晶圓上,省去將射出的光學鏡頭重新貼於分拆的晶粒上,可有效縮短製程降低成本。
ITEM 項目 | X axis (up) | Yaxis(down) | Z axis | |
Stroke 行程 | Effective (mm) | 150 | 150 | 50 |
Maximal (mm) | 158 | 158 | 58 | |
Resolution 解析度 (um) | 0.05 | 0.05 | 0.05 | |
Straightness 走行直線度 (um) | <2 | <1 | <1 | |
Flatness 走行平坦度 (um) | <1 | <2 | <2 | |
XYZ squareness 直角度 (um) | <2 | <2 | ||
Repeatability 重現精度 (um) | +/- 0.1 | +/- 0.1 | +/- 0.1 | |
Accuracy 絕對精度 (um)
(with laser calibration) 雷射校正後 |
< 1 | < 1 | < 1 | |
Maximal speed (m/sec) | 0.8 | 0.8 | 0.8 | |
Maximal Acc. 最大加速度 (G) | 2 | 2 | 2 |
- X 及 Y 軸為分立橋式結構,Z軸安裝於X軸上。
- 動磁式設計,無移動電纜。
- 盲道式蓋板設計,提高防塵能力。.
- 使用鐵心式超低Cogging線性馬達